专利

专利名称：基于铜互连中以金属钌作为粘附阻挡层的抛光工艺的抛光液
专利号：2012022100268040.0
专利权人：复旦大学
时间：2011-06-23
专利名称：一种用于金属钼抛光工艺的抛光液
专利号：201210184424.9
专利权人：复旦大学
时间：2011-06-22
专利名称：一种基于金属Co的抛光工艺的抛光液及其应用，
专利号：201110372757.X
专利权人：复旦大学
时间：2011-06-21
专利名称：一种基于金属Co的抛光工艺的抛光液，
专利号：201110186116.5
专利权人：复旦大学
时间：2011-06-20
专利名称：一种抑制多孔低K电常数介质吸入水汽的方法
专利号：201110186150.2
专利权人：复旦大学
时间：2011-06-19
专利名称：一种集成电路铜互连结构及其制备办法
专利号：201110030627.8
专利权人：复旦大学
时间：2011-06-18
专利名称：一种形成铜接触互连结构的方法
专利号：201010162432.4
专利权人：复旦大学
时间：2011-06-17
专利名称：微晶玻璃抛光液的制备方法
专利号：201010231554.4 
专利权人：天津晶岭微电子材料有限公司
时间：2011-06-16
专利名称：二氧化硅介质化学机械抛光液的制备方法
专利号：201010231555.9 
专利权人：天津晶岭微电子材料有限公司
时间：2011-06-15
专利名称：ULSI铜表面高精密加工过程中化学机械抛光液的制备方法
专利号：201010231552.5 
专利权人：天津晶岭微电子材料有限公司
时间：2011-06-14
专利名称：钨钼合金材料化学机械抛光液的制备方法
专利号：201010230950.5 
专利权人：天津晶岭微电子材料有限公司
时间：2011-06-13
专利名称：高浓度Ti阻挡层表面化学机械抛光液的制备方法
专利号：201010232560.1 
专利权人：天津晶岭微电子材料有限公司
时间：2011-06-12
专利名称：镁铝合金材料表面化学机械抛光液的制备方法
专利号：201010232558.4 
专利权人：天津晶岭微电子材料有限公司
时间：2011-06-11
专利名称：锑化铟材料表面化学机械抛光液的制备方法
专利号：201010232257.1 
专利权人：天津晶岭微电子材料有限公司
时间：2011-06-10
专利名称：液晶显示屏水基清洗液的制备方法
专利号：201010231822.2 
专利权人：天津晶岭微电子材料有限公司
时间：2011-06-09
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