专利
专利名称：永磁同步电机转子初始位置角的确定方法
专利号：200910072448.3
专利名称：一种前开式晶片盒
专利号：201210380149.8
专利名称：一种对晶片中心进行定位的光学对中系统及其对中方法
专利号：201210001264.X
专利名称：晶圆视觉对中单元
专利号：201110022139.2
专利名称：带升降式对中装置的离心机
专利号：201010565644.7
专利名称：一种晶片传递装置
专利号：201010512597.X
专利名称：双整定精确定位硅片圆心的方法
专利号：201110034834.0
专利名称：双向传递片盒机构
专利号：201010284589.4
专利名称：加热器
专利号：201110064381.6
专利名称：高温水蒸气和水混合射流清洗系统及方法
专利号：201010555980.3
专利名称：清洗系统及方法
专利号：201010250914.5
专利名称：样片去胶装置及方法
专利号：201010238028.0
专利名称：一种干燥微电子器件的方法及装置
专利号：201010209841.5
专利名称：一种可兼容不同尺寸晶圆的伯努利承片台
专利号：201210001046.6
专利名称：一种磁悬浮晶圆旋转系统
专利号：201110331987.1
