专利
专利名称：可动镜片微调机构
专利号：201210587417.3
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：曝光装置及曝光方法
专利号：201210586861.3
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：一种套刻测量的装置和方法
专利号：201310041151.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-02-04
专利名称：光刻机的快门叶片
专利号：201310347787.4
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-08-09
专利名称：用于调焦调平测量系统的零位调整装置
专利号：201010181419.3
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2010-05-21
专利名称：一种硅片台安装定位系统
专利号：201320043503.8
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-01-25
专利名称：自参考干涉对准系统
专利号：201310064775.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-03-01
专利名称：一种套刻误差测量装置及方法
专利号：201210402315.X
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-10-19
专利名称：一种光刻机垂向距离测量装置及测量方法
专利号：201310029988.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-01-25
专利名称：用于固定长条镜的固定装置
专利号：201220575998.4
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-11-02
专利名称：一种基底传输机器手
专利号：201220540021.9
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-01-30
专利名称：一种光刻机水平测量装置及测量方法
专利号：201210451764.3
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-11-12
专利名称：串行同步控制系统
专利号：201210587448.9
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：一种设有吸振装置的微动模块
专利号：201320146246.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-03-27
专利名称：一种同步提升移入移出机构
专利号：201310075487.5
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-03-11