专利
专利名称：光学元件六自由度微位移调节装置、投影物镜和光刻机
专利号：PCT/CN2016/104017
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2016-10-31
专利名称：光学元件六自由度微位移调节装置、投影物镜和光刻机
专利号：201610929894
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2016-10-31
专利名称：一种胶合镜片结构及其制作方法
专利号：201611059071
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2016-11-25
专利名称：一种调整工装机构
专利号：201610957090
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2016-10-27
专利名称：一种二自由度调整机构
专利号：201610970755
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2016-10-27
专利名称：一种平面平行度的测量方法
专利号：201610970778
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2016-10-28
专利名称：一种微位移传感器标定装置及其应用
专利号：201610957069
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2016-10-27
专利名称：光学元件支撑镜框基准平面加工装置及加工方法
专利号：201610726701
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2016-08-20
专利名称：柔性结构件的加工方法及装置
专利号：201610633666.X
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2016-08-14
专利名称：一种变形镜系统高精度刚体位移检测方法及装置
专利号：201610633570
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2016-08-11
专利名称：光学制造系统
专利号：201610493994
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2016-06-29
专利名称：精密气体控制装置及光学制造系统
专利号：201610479002
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2016-06-27
专利名称：光学元件支撑结构、单元镜组、曝光光学系统及光刻机
专利号：201610205482
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2016-04-01
专利名称：压电陶瓷驱动装置
专利号：201511017671.X
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2015-12-29
专利名称：一种数字驱动电源
专利号：201511017676
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2012-08-28