专利

专利名称：一种换位机构
专利号：201220652820.5
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2012-11-30
专利名称：一种V形块位置转换机构
专利号：201210505997.7
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2012-11-30
专利名称：采用颜色编码提高正交复合光栅位相测量轮廓术的动态特性
专利号：CN200910059846
专利权人：四川大学
时间：2009-07-01
专利名称：一种可绝对位相展开的十六步双频光栅相移轮廓术
专利号：CN200910059848
专利权人：四川大学
时间：2009-07-01
专利名称：用非等步相移正交光栅实现实时三维面形测量的方法
专利号：CN200910059847
专利权人：四川大学
时间：2009-07-01
专利名称：一种基于四向虚光栅的二维干涉图相位提取方法
专利号：201410642147.0
专利权人：北京理工大学
时间：2014-11-11
专利名称：双吸收层交替相移掩模衍射场的计算方法
专利号：201210046169.1
专利权人：北京理工大学
时间：2012-02-28
专利名称：光刻物镜非球面位置选择方法
专利号：201210099577.3
专利权人：北京理工大学
时间：2012-04-06
专利名称：高分辨率福布斯光刻物镜
专利号：201110352225.X
专利权人：北京理工大学
时间：2011-11-09
专利名称：高分辨率非球面光刻物镜
专利号：201010279318.X
专利权人：北京理工大学
时间：2010-09-13
专利名称：深紫外全球面光刻物镜
专利号：201010278088.5
专利权人：北京理工大学
时间：2010-09-10
专利名称：带辅助线条的双层衰减相移L/S掩模锥形衍射场的计算方法
专利号：201210099540.0
专利权人：北京理工大学
时间：2012-04-06
专利名称：一种基于模式搜索法光刻配置参数的优化方法
专利号：201110353960.2
专利权人：北京理工大学
时间：2011-11-09
专利名称：获取基于BL模型的三维掩膜空气中成像的方法
专利号：201110117127.8
专利权人：北京理工大学
时间：2011-05-06
专利名称：一种精密磁阻作动器电磁力建模及运动控制方法
专利号：
专利权人：华中科技大学
时间：2017-04-21
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