专利
专利名称：磁悬浮分子泵径向振动控制方法
专利号：201110243488.7
专利权人：北京中科科仪股份有限公司、清华大学
时间：2011-08-23
专利名称：一种磁悬浮分子泵失稳恢复控制方法
专利号：201110186730.1
专利权人：北京中科科仪股份有限公司、清华大学
时间：2011-07-05
专利名称：一种磁悬浮分子泵及其制造方法
专利号：201110167132.3
专利权人：北京中科科仪股份有限公司、清华大学
时间：2011-06-21
专利名称：一种磁悬浮分子泵及其控制方法、制造方法
专利号：201110167633.8
专利权人：北京中科科仪股份有限公司、清华大学
时间：2011-06-21
专利名称：一种磁悬浮分子泵的神经网络控制装置
专利号：201020696200.2
专利权人：北京中科科仪股份有限公司、清华大学
时间：2010-12-31
专利名称：一种磁悬浮分子泵的神经网络控制系统及方法
专利号：201010619900.6
专利权人：北京中科科仪股份有限公司、清华大学
时间：2010-12-31
专利名称：磁悬浮分子泵系统
专利号：201020696028
专利权人：北京中科科仪股份有限公司、清华大学
时间：2010-12-31
专利名称：一种磁悬浮分子泵系统
专利号：201020696084.4
专利权人：北京中科科仪股份有限公司、清华大学
时间：2010-12-31
专利名称：一种磁悬浮分子泵的自适应控制系统及控制方法
专利号：201010619785.2
专利权人：北京中科科仪股份有限公司、清华大学
时间：2010-12-31
专利名称：磁悬浮分子泵的模糊控制方法和模糊控制系统
专利号：201010619897.8
专利权人：北京中科科仪股份有限公司、清华大学
时间：2010-12-31
专利名称：一种泵水冷机构
专利号：201020613747.1
专利权人：北京中科科仪股份有限公司
时间：2010-11-18
专利名称：分子泵供油锥及具有该分子泵供油锥的供油系统
专利号：201020608645
专利权人：北京中科科仪股份有限公司
时间：2010-11-15
专利名称：一种真空隔断阀
专利号：200910088045.8
专利权人：北京中科科仪股份有限公司
时间：2009-06-30
专利名称：一种分子泵轴承组件
专利号：200910089537.9
专利权人：北京中科科仪股份有限公司
时间：2009-07-23
专利名称：一种分子泵型号的识别方法
专利号：200912244025.5
专利权人：北京中科科仪股份有限公司
时间：2009-12-25