专利
专利名称：一种清洗装置和清洗方法
专利号：201010534754.7
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2010-11-03
专利名称：一种刀体破损的检测装置及检测方法
专利号：201010270467.X
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2010-09-01
专利名称：一种刀片破损量检测装置及检测方法
专利号：201010273074.4
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2010-09-03
专利名称：一种吸片台装置
专利号：201010271844.1
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2010-09-02
专利名称：划片机刀片的修整方法
专利号：201010243418.7
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2010-08-02
专利名称：一种半导体专用设备用晶片传输装置
专利号：201010181407.0
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2010-05-25
专利名称：一种齿轮弹性消隙结构
专利号：201010181443.7
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2010-05-25
专利名称：一种半导体专用设备用晶片吸附搬运装置
专利号：201010181423.X
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2010-05-25
专利名称：晶片中心定位装置
专利号：201010181396.6
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2010-05-25
专利名称：晶片双流体清洗装置
专利号：201010195947.4
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2010-06-10
专利名称：晶片清洁装置
专利号：201010195939.X
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2010-06-10
专利名称：半导体专用设备晶片旋转台装置
专利号：201010195940.2
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2010-06-10
专利名称：旋转接头
专利号：201010190841.5
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2010-06-03
专利名称：旋转气浮系统
专利号：201010190833.0
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2010-06-03
专利名称：用于半导体专用设备的晶片吸附翻转装置
专利号：201010190830.7
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2010-06-03