专利

专利名称：光机分离式双腔准分子激光器整机框架系统
专利号：201310150300.30
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-04-26
专利名称：基于改进的贯流风机叶轮的单腔双电极放电腔
专利号：201310054167.10
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-02-20
专利名称：一种准分子激光器的温度控制系统
专利号：201310149256.40
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-04-26
专利名称：激光器放电腔的六自由度调节机构
专利号：201310158818.10
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-05-02
专利名称：用于激光器放电腔的电磁力密封窗装置
专利号：201310148644.00
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-04-25
专利名称：一种分立式气体激光器
专利号：201310054955.00
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-02-20
专利名称：气体激光器的种子光注入锁定放大系统和功率放大腔
专利号：201310054865.10
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-02-20
专利名称：一种连续调节激光相干长度的方法和装置
专利号：201210552043.10
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2012-12-18
专利名称：一种准分子激光器的温度控制方法和系统
专利号：201310019613.50
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-01-18
专利名称：激光器温度稳定控制系统
专利号：201310018462.10
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-01-18
专利名称：基于等腰直角三棱镜的激光线宽压窄扩束方法和系统
专利号：201210553807.90
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2012-12-19
专利名称：一种测量ArF准分子激光器腔内温度的光纤光栅传感器
专利号：201210513131.00
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2012-12-04
专利名称：一种光学元件透过率的测量方法及装置
专利号：201210524943.50
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2012-12-07
专利名称：准分子激光器的自动温控系统
专利号：201210442930.30
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2012-11-08
专利名称：激光器发散角及光斑形状测量装置
专利号：201210336655.70
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2012-09-12
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