专利

专利名称：晶圆在位检测装置、晶圆托架以及晶圆在位检测方法
专利号：201210391203.9
专利权人：清华大学
时间：2012-10-15
专利名称：晶圆清洗设备
专利号：201210256981.7
专利权人：清华大学
时间：2012-07-23
专利名称：化学机械抛光水性组合物及钛基片化学机械抛光工艺方法
专利号：201210248460.7
专利权人：清华大学
时间：2012-07-17
专利名称：钛酸钡化学机械抛光水性组合物及其应用
专利号：201210248321.4
专利权人：清华大学
时间：2012-07-17
专利名称：晶圆干燥装置
专利号：201210240809.2
专利权人：清华大学
时间：2012-07-11
专利名称：化学机械抛光传输机器人的递归优化控制系统
专利号：201210050640.4
专利权人：清华大学
时间：2012-02-29
专利名称：一种化学机械抛光传输机器人系统
专利号：201210050639.1
专利权人：清华大学
时间：2012-02-29
专利名称：化学机械抛光传输机器人的非线性模糊结合递归控制系统
专利号：201210050606.7
专利权人：清华大学
时间：2012-02-29
专利名称：导体膜的厚度的测量装置和测量导体膜的厚度的方法
专利号：201210004915.0
专利权人：清华大学
时间：2012-01-09
专利名称：缓蚀剂、其制备方法及化学机械抛光组合物
专利号：201210004900.4
专利权人：清华大学
时间：2012-01-09
专利名称：酸性化学机械抛光组合物
专利号：201210004801.6
专利权人：清华大学
时间：2012-01-09
专利名称：用于晶圆台的晶圆膜厚度测量的误差补偿方法
专利号：201110452341.9
专利权人：清华大学
时间：2011-12-29
专利名称：用于晶圆台的晶圆膜厚度测量误差补偿的时空变换方法
专利号：201110452330.0
专利权人：清华大学
时间：2011-12-29
专利名称：晶圆台
专利号：201110421591.6
专利权人：清华大学
时间：2011-12-15
专利名称：利用晶圆台测量晶圆的膜厚度的方法
专利号：201110421573.8
专利权人：清华大学
时间：2011-12-15
上一页