专利

专利名称：磁控溅射方法以及磁控溅射装置
专利号：201610664192.5
专利权人：北方微电子
时间：2016-08-12
专利名称：反应腔室以及半导体加工设备
专利号：201610653139.5 
专利权人：北方微电子
时间：2016-08-10
专利名称：一种监控方法、微电子加工方法及装置
专利号：201610550444.1
专利权人：北方微电子
时间：2016-07-13
专利名称：温度控制方法、装置及半导体加工设备
专利号：201610541548.6
专利权人：北方微电子
时间：2016-07-11
专利名称：一种压环、反应腔室和半导体加工设备
专利号：201610522143.8 
专利权人：北方微电子
时间：2016-07-05
专利名称：形成薄膜的方法以及形成氮化铝薄膜的方法
专利号：201610409464.7 
专利权人：北方微电子
时间：2016-06-12
专利名称：半导体设备的成膜方法、氮化铝成膜方法以及电子装置
专利号：201610407581.X 
专利权人：北方微电子
时间：2016-06-12
专利名称：半导体设备的成膜方法以及半导体设备的氮化铝成膜方法
专利号：201610407507.8 
专利权人：北方微电子
时间：2016-06-12
专利名称：基座组件及反应腔室
专利号：201610339336.X 
专利权人：北方微电子
时间：2016-05-20
专利名称：一种半导体处理装置
专利号：201610264154.0
专利权人：北方微电子
时间：2016-04-26
专利名称：一种用于阻挡层钌的碱性抛光液及其制备方法
专利号：201610542485.6
专利权人：河北工业大学
时间：2016-07-11
专利名称：碱性抛光液在抑制铜钽阻挡层电偶腐蚀的应用
专利号：201610577468.6
专利权人：河北工业大学
时间：2016-07-19
专利名称：用于抑制铜钌阻挡层电偶腐蚀的碱性抛光液及其制备方法
专利号：201610545107.3
专利权人：河北工业大学
时间：2016-07-12
专利名称：一种用于铜布线阻挡层钴的碱性抛光液及其制备方法
专利号：201610541674.1
专利权人：河北工业大学
时间：2016-07-11
专利名称：多层铜布线钴阻挡层表面粗糙度控制方法
专利号：201610576241.X
专利权人：河北工业大学
时间：2016-07-11
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