专利
专利名称：基于倒置工艺的二维材料纳米器件及其形成方法
专利号：201210331608.3
专利名称：机器人小车维修机以及位置控制结构
专利号：201320884880.4
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2014-01-22
专利名称：用于半导体制造工艺中的硅片定位系统
专利号：201310753954.5
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2014-01-21
专利名称：基于AMHS系统的输送车行驶控制方法
专利号：201310742871.6
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2014-01-20
专利名称：AMHS暂存区系统
专利号：201310739705.0
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2014-01-19
专利名称：输送车及AMHS系统
专利号：201310739701.2
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2014-01-18
专利名称：基于AMHS系统的输送车行驶控制方法
专利号：201310739688.0
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2014-01-17
专利名称：维修车及AMHS系统
专利号：201310728357.7
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2014-01-16
专利名称：自动化物料传输系统
专利号：201310727915.8
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2014-01-15
专利名称：除尘车及AMHS系统
专利号：201310727167.3
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2014-01-14
专利名称：用于自动化物料传输系统的输送车
专利号：201310719196.5
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2014-01-13
专利名称：自动搬送轨道结构及搬送系统
专利号：201310719132.5
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2014-01-12
专利名称：用于自动化物料传输的轨道结构及传输系统
专利号：201310719122.1
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2014-01-11
专利名称：用于自动化物料传输系统的输送车
专利号：201310631572.5
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2014-01-10
专利名称：堆垛机、自动化物料输送系统及平台
专利号：201310631554.7
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2014-01-09