专利
专利名称：硅片位置信息的静态扫描系统及方法
专利号：201310177592.X
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2013-12-24
专利名称：设备前端装置和硅片盒的储运方法
专利号：201310167693.9
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2013-12-23
专利名称：自动搬送轨道结构及搬送系统
专利号：201220659771.8
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2013-12-22
专利名称：静态同步扫描获取硅片位置信息的系统及方法
专利号：201210458094.8
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2013-12-21
专利名称：一种自动物料搬运系统
专利号：201210448970.9
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2013-12-20
专利名称：一种静态扫描获取硅片位置信息的系统及方法
专利号：201210431669.7
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2013-12-19
专利名称：工件传输系统
专利号：201210413475.4
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2013-12-18
专利名称：自动化物料传输系统及其方法
专利号：201210379782.5
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2013-12-17
专利名称：自动化物料输送系统及其方法
专利号：201210349599.0
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2013-12-16
专利名称：设备平台系统及其晶圆传输方法
专利号：PCT/CN2013/084249
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2013-12-15
专利名称：一种自动物料搬运系统
专利号：PCT/CN2013/084245
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2013-12-14
专利名称：一种机器人轨迹精度测量方法
专利号：201310576840.8
专利名称：一种真空传输控制系统
专利号：201310576836.1
专利名称：机器人自主充电系统和方法
专利号：201310567490.9
专利名称：基于磁粉离合器控制方式的闭环力控制装置
专利号：201310567363.9
