专利
专利名称：基于复位弹簧的行程限位机构
专利号：201210003704.5
专利名称：机柜系统
专利号：201210002614.4
专利名称：搬运车交直流供电切换装置
专利号：PCT/CN2013/086720
专利名称：一种搬运天车控制系统
专利号：PCT/CN2013/086704
专利名称：一种搬运装置行走位置控制系统
专利号：PCT/CN2013/086702
专利名称：一种多腔室晶圆加工设备传输控制系统
专利号：201310274948.1
专利权人：沈阳自动化所
时间：2013-10-05
专利名称：一种面向半导体生产线搬运系统多天车协调调度方法
专利号：201310634924.2
专利权人：沈阳自动化所
时间：2013-10-04
专利名称：一种半导体搬运系统天车运动表现方法
专利号：201310633825.2
专利权人：沈阳自动化所
时间：2013-10-03
专利名称：一种面向半导体生产线搬运系统软件故障快速恢复方法
专利号：201310626874.3
专利权人：沈阳自动化所
时间：2013-10-02
专利名称：一种半导体生产线搬运系统设备仿真方法
专利号：201310557698.2
专利权人：沈阳自动化所
时间：2013-10-01
专利名称：集成电路生产线搬运系统的高性能日志记录查询方法
专利号：201310552595.7
专利权人：沈阳自动化所
时间：2013-09-30
专利名称：面向半导体生产线搬运系统的轨道与天车协调控制方法
专利号：201310513061.3
专利权人：沈阳自动化所
时间：2013-09-29
专利名称：一种面向半导体生产线搬运系统天车路线规划方法
专利号：201310508123.1
专利权人：沈阳自动化所
时间：2013-09-28
专利名称：一种基于物料传输系统的信息传输方法
专利号：201310409009.3
专利权人：沈阳自动化所
时间：2013-09-27
专利名称：一种面向半导体生产线搬运系统的数据传输方法
专利号：201210508787.3
专利权人：沈阳自动化所
时间：2013-09-26
