专利
专利名称：一种用于MEMS光学器件的薄膜封帽封装结构
专利号：ZL 2012 1 0300822.2
专利权人：江苏物联网研究发展中心
时间：2012-08-23
专利名称：基于黑硅的高性能MEMS热电堆红外探测器及其制备方法
专利号：ZL 2012 1 0303746.0
专利权人：江苏物联网研究发展中心
时间：2012-08-23
专利名称：一种高性能MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法
专利号：ZL 2012 1 0303727.8
专利权人：江苏物联网研究发展中心
时间：2012-08-23
专利名称：一种纳米柱/针森林结构的加工方法
专利号：ZL 2012 1 0265870.2
专利权人：江苏物联网研究发展中心
时间：2012-07-30
专利名称：应用于MEMS读出电路的伪随机调制解调斩波电路
专利号：ZL 2012 1 0254637.4
专利权人：江苏物联网研究发展中心
时间：2012-07-21
专利名称：一种用于红外焦平面阵列器件的微结构及其制造方法
专利号：ZL 2012 1 088833.9
专利权人：江苏物联网研究发展中心
时间：2012-03-29
专利名称：一种晶圆级真空封装的红外探测器及其制造方法
专利号：ZL 2012 1 0088369.3
专利权人：江苏物联网研究发展中心
时间：2012-03-29
专利名称：一种晶圆级真空封装的IR FPA器件及其制造方法
专利号：ZL 2012 1 0088348.1
专利权人：江苏物联网研究发展中心
时间：2012-03-29
专利名称：热电堆红外探测器、阵列及其制作方法
专利号：ZL 2011 1 0215064.X
专利权人：江苏物联网研究发展中心
时间：2011-07-29
专利名称：MINIATURE THERMOELECTRIC ENERGY HARVESTER AND FABRICATION METHOD THEREOF
专利号：US8853814B2
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2012-04-06
专利名称：THREE-DIMENSIONAL THERMOELECTRIC ENERGY HARVESTER AND FABRICATION METHOD THEREOF
专利号：US9190596B2
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2012-04-05
专利名称：一种三维真空传感器及其制备方法
专利号：201210473419.X
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2012-11-20
专利名称：单芯片双轴水平光纤加速度传感器及其制备方法
专利号：201510010031.X
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2015-01-08
专利名称：一种微型电磁式振动能量采集器及其制作方法
专利号：201110027379.1
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2011-01-10
专利名称：单芯片三轴磁场传感器及制备方法
专利号：201310032909.0
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2013-01-29
