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专利
专利名称:
一种glitch信号处理装置
专利号:
201510710236.9
专利权人:中科信
时间:2015-10-28
专利名称:
一种波纹管运动密封装置
专利号:
201510710239.2
专利权人:中科信
时间:2015-10-28
专利名称:
一种多功能双灯丝离子源
专利号:
201510710238.8
专利权人:中科信
时间:2015-10-28
专利名称:
一种多通道束流选择与采集系统
专利号:
201510710334.2
专利权人:中科信
时间:2015-10-28
专利名称:
一种高低能切换装置
专利号:
201510710333.8
专利权人:中科信
时间:2015-10-28
专利名称:
一种广泛适用的斑点束平行透镜设计方法
专利号:
201510710366.2
专利权人:中科信
时间:2015-10-28
专利名称:
一种广泛适用的离子束电偏转元件设计方法
专利号:
201510710269.3
专利权人:中科信
时间:2015-10-28
专利名称:
一种解决离子注入机PMAC部件运行时控制程序卡机或死机的处理方法
专利号:
201510710267.4
专利权人:中科信
时间:2015-10-28
专利名称:
一种离子注入隔离真空装置
专利号:
201510710268.9
专利权人:中科信
时间:2015-10-28
专利名称:
一种离子注入机的真空自动监测的方法
专利号:
201510710332.3
专利权人:中科信
时间:2015-10-28
专利名称:
一种适用于低能宽带束离子注入机的均匀性自动调节方法
专利号:
201510710266.X
专利权人:中科信
时间:2015-10-28
专利名称:
一种束流检测装置
专利号:
201510710270.6
专利权人:中科信
时间:2015-10-28
专利名称:
一种新型宽束流减速器
专利号:
201510710240.5
专利权人:中科信
时间:2015-10-28
专利名称:
一种引出电极驱动装置
专利号:
201510710368.1
专利权人:中科信
时间:2015-10-28
专利名称:
一种自动量程增益选择的离子注入机束流采集方法
专利号:
201510710331.9
专利权人:中科信
时间:2015-10-28
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