专利
专利名称：一种含纳米孔隙的低介电常数复合薄膜的制备方法
专利号：201410240798.7
专利名称：一种铜互连扩散阻挡层及其制备方法
专利号：201410107226.1
专利名称：一种超低介电常数绝缘薄膜及其制备方法
专利号：201410243600.0
专利名称：一种具有优异力学性能的低介电常数薄膜的制备方法
专利号：201310545351.6
专利名称：一种改善超低介电 常数多孔SiCOH薄膜抗吸湿性能的方法
专利号：201310565850.1
专利名称：一种超低介电常数材料薄膜及其制备方法
专利号：201210187160.2
专利名称：一种SiCOH薄膜及其制备方法
专利号：201310181432.2
专利名称：一种低介电常数材料前驱体的合成方法
专利号：201310069430.4
专利名称：一种修饰SiCOH薄膜微结构的方法
专利号：201110208255.3
专利名称：一种适用于铜互连的Ru/WHfN抗铜扩散阻挡层及其制备方法
专利号：201110048029.3
专利名称：一种超低介电常数材料薄膜及其制备方法
专利号：201110047987.9
专利名称：有机液态源low-K材料金属去除剂及其制备方法和应用
专利号：PCT/CN2014/085905
专利权人：中国科学院上海高等研究院
时间：2014-09-04
专利名称：一种低介电常数材料薄膜及其制备方法
专利号：201410465737.0
专利权人：中国科学院上海高等研究院
时间：2014-09-12
专利名称：一种含氟萘乙基有机硅树脂及其制备方法和应用
专利号：201410464412.0
专利权人：中国科学院上海高等研究院
时间：2014-09-12
专利名称：一种含氟萘乙基有机硅单体及其制备方法和用途
专利号：201410464427.7
专利权人：中国科学院上海高等研究院
时间：2014-09-12
