专利
专利名称：一种抛光压力环装置
专利号：201020646429.5
专利名称：一种防止硅片在热处理过程中崩边的方法及石英舟
专利号：201010622618.3
专利名称：一种8英寸晶圆切口氧化膜去除方法和装置
专利号：201010597242.5
专利名称：含2,1,4-重氮萘醌磺酸酚酯的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂组合物
专利号：ZL201110130217.0
专利权人：北京师范大学
时间：2010-06-09
专利名称：一种基于聚对羟基苯乙烯的单组分化学增幅光致抗蚀剂材料、其合成方法及其用途
专利号：ZL201210061066.2
专利权人：北京师范大学
时间：2010-06-09
专利名称：一种含硫鎓盐光产酸基团的聚对羟基苯乙烯衍生物、其合成方法及其用途
专利号：PCT/CN2013/072251
专利权人：北京师范大学
时间：2010-06-09
专利名称：一种基于鞣酸的化学增幅型紫外正性光致抗蚀剂及其合成方法
专利号：201410178272.0
专利权人：北京师范大学
时间：2010-06-09
专利名称：一种正型光刻胶组合物及正型光刻胶显影工艺
专利号：PCT/CN2013/081975
专利权人：北京科华微电子材料有限公司
时间：2010-06-09
专利名称：一种新型的光刻胶剥离液及其应用工艺
专利号：PCT/CN2013/081929
专利权人：北京科华微电子材料有限公司
时间：2010-06-09
专利名称：一种新型负性化学放大光刻胶及其成像方法
专利号：PCT/CN2013/081971
专利权人：北京科华微电子材料有限公司
时间：2010-06-09
专利名称：一种正型光刻胶组合物及正型光刻胶显影工艺
专利号：201310276738.6
专利权人：北京科华微电子材料有限公司；
北京科华丰园微电子科技有限公司
时间：2010-06-09
专利名称：一种新型的光刻胶剥离液及其应用工艺
专利号：201310276907.6
专利权人：北京科华微电子材料有限公司；
北京科华丰园微电子科技有限公司
时间：2010-06-09
专利名称：一种新型负性化学放大光刻胶及其成像方法
专利号：201310277171.4
专利权人：北京科华微电子材料有限公司；
北京科华丰园微电子科技有限公司
时间：2010-06-09
专利名称：锂离子电池组的充电管理方法和充电机
专利号：ZL201010195821.7
专利权人：北京汽车新能源汽车有限公司
时间：2010-06-09
专利名称：一种电动车窗关闭力测试仪
专利号：201210214744.4
专利权人：北京航空航天大学，中国科学院电工研究所
时间：2012-06-26
