专利
专利名称：一种硅片抛光的悬挂式中心轮结构
专利号：ZL201220469619.3
专利权人：浙江金瑞泓科技股份有限公司
时间：2012-09-14
专利名称：一种用于抛光机的压力圈
专利号：ZL201220177113.5
专利权人：浙江金瑞泓科技股份有限公司
时间：2012-04-24
专利名称：一种线切硅单晶
专利号：ZL201220178912.4
专利权人：浙江金瑞泓科技股份有限公司
时间：2012-04-24
专利名称：一种石墨基座
专利号：ZL201220177112.0
专利权人：浙江金瑞泓科技股份有限公司
时间：2012-04-24
专利名称：一种可切换气体的阀门分配面板
专利号：ZL201220178914.3
专利权人：浙江金瑞泓科技股份有限公司
时间：2012-04-24
专利名称：一种抛光过程中的陶瓷盘接引盘
专利号：ZL201220177576.1
专利权人：浙江金瑞泓科技股份有限公司
时间：2012-04-24
专利名称：一种线切割砂浆配制装置
专利号：ZL201220177084.2
专利权人：浙江金瑞泓科技股份有限公司
时间：2012-04-24
专利名称：一种用于硅抛光片在异丙醇中干燥的PFA片架
专利号：ZL201220151187.1
专利权人：浙江金瑞泓科技股份有限公司
时间：2012-04-11
专利名称：一种化学机械抛光液
专利号：201010620152.3
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-08-08
专利名称：一种抛光硅和铜的化学机械平坦化浆料
专利号：201010609130.7
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-08-07
专利名称：含有机酸的硅和铜化学机械平坦化浆料
专利号：201010609227.8
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-08-06
专利名称：一种化学机械抛光液
专利号：100134052
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-08-05
专利名称：一种化学机械抛光液
专利号：99145397
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-08-04
专利名称：一种化学机械抛光液
专利号：99145396
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-08-03
专利名称：一种化学机械抛光液
专利号：100134047
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-08-02