专利

专利名称：硅片的硼铝共吸杂方法
专利号：ZL201010283047.5
专利权人：浙江大学
时间：2010-09-16
专利名称：直拉硅片的内吸杂工艺
专利号：ZL201110070161.4
专利权人：浙江大学
时间：2011-03-23
专利名称：一种在高COP硅单晶衬底上制备200mm-300mm低缺陷外延片的方法
专利号：CN201610041286.7
专利权人：浙江金瑞泓科技股份有限公司
时间：2016-01-21
专利名称：磷砷锑共掺杂的N型重掺直拉硅单晶及其硅外延片
专利号：CN201510083673.2
专利权人：浙江金瑞泓科技股份有限公司
时间：2015-02-16
专利名称：一种原位清洗200mm-300mm外延设备基座背面的方法
专利号：CN201610082473.X
专利权人：浙江金瑞泓科技股份有限公司
时间：2016-02-05
专利名称：一种在线的砂浆再利用的装置
专利号：CN201610276167.X
专利权人：浙江金瑞泓科技股份有限公司
时间：2016-04-29
专利名称：一种单片炉外延层厚度均匀性生长的控制方法
专利号：ZL201210123065.6
专利权人：浙江金瑞泓科技股份有限公司
时间：2012-04-24
专利名称：一种双排气平板式外延炉
专利号：ZL201210104802.8
专利权人：浙江金瑞泓科技股份有限公司
时间：2012-04-11
专利名称：一种硅单晶片的二氧化硅薄膜的剥离装置
专利号：ZL201210105734.7
专利权人：浙江金瑞泓科技股份有限公司
时间：2012-04-11
专利名称：一种准减压外延生长方法
专利号：ZL201210105604.3
专利权人：浙江金瑞泓科技股份有限公司
时间：2012-04-11
专利名称：带超声或兆声振子的异丙醇干燥机
专利号：ZL201110434684.2
专利权人：浙江金瑞泓科技股份有限公司
时间：2011-12-22
专利名称：一种硅片酸腐蚀用夹持转动工装
专利号：ZL201521074089.2
专利权人：浙江金瑞泓科技股份有限公司
时间：2015-12-18
专利名称：一种带超声或兆声振子的异丙醇干燥机
专利号：ZL201120543012.0
专利权人：浙江金瑞泓科技股份有限公司
时间：2011-12-22
专利名称：一种用于直拉硅单晶生长的晶种夹头
专利号：ZL201120543003.1
专利权人：浙江金瑞泓科技股份有限公司
时间：2011-12-22
专利名称：一种使用抛光盘接引盘的抛光系统和方法
专利号：ZL201210106356.4
专利权人：浙江金瑞泓科技股份有限公司
时间：2012-04-12
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