专利
专利名称：多轴真空机械手轴系精度测试装置
专利号：201310336884.3
专利名称：滚轮钢带预紧装置
专利号：201310289792.4
专利名称：分体式直驱电机组装装置
专利号：201310289029.1
专利名称：一种集成旋转变压器的轴系静态真空隔离方法
专利号：201310077065.1
专利名称：一种集成旋转变压器的静态真空轴系装置
专利号：201310076619.6
专利名称：一种基于柔性铰链的对拖加载低速电机测试设备
专利号：201210581060.8
专利名称：一种测量直流无刷电机参数的方法
专利号：201210581056.1
专利名称：一种基于柔性铰链的电机力矩测定方法
专利号：201210581039.8
专利名称：一种对拖加载低速电机测试装置
专利号：201210580928.2
专利名称：一种晶圆预对准方法
专利号：201210579517.1
专利名称：一种晶圆预对准装置
专利号：201210579502.5
专利名称：聚合物薄膜类产品微细结构卷对卷热辊压成形装置
专利号：201210208492.4
专利名称：侧掺杂弯曲增敏型光纤曲率传感器
专利号：201110423214.6
专利名称：近场超声波悬浮力的精确定量计算方法
专利号：201110316558.7
专利名称：二自由度平动并联解耦微动平台
专利号：ZL 201010216326.X
