专利
专利名称：一种多关节机械手询零装置及方法
专利号：ZL 201210003718.7
专利名称：集成调度系统的EFEM及其调度方法
专利号：ZL 201210003784.4
专利名称：一种晶圆装卸台的控制系统
专利号：201210003734.6
专利名称：一种半导体加工设备的EFEM控制系统
专利号：201210003803.3
专利名称：连杆型机械手
专利号：ZL 201210003743.5
专利名称：机械手手臂机构
专利号：201210003798.6
专利名称：多级焊接波纹管
专利号：ZL 201210003767.0
专利名称：晶圆预对准装置
专利号：ZL 201210002091.3
专利名称：晶圆缺口边缘中心预对准方法
专利号：ZL 201210002247.8
专利名称：晶圆中心预对准方法
专利号：ZL 201210002309.5
专利名称：机械手制动系统
专利号：ZL 201210002105.1
专利名称：机械手电机编码器电缆出线结构
专利号：201210002102.8
专利名称：晶圆预对准控制方法
专利号：201210002328.8
专利名称：夹持装置
专利号：ZL 201210002326.9
专利名称：机械手夹持确认装置
专利号：ZL 201210002043.4
