专利
专利名称：内设导气管的机械手
专利号：ZL 201210002109.X
专利名称：用于预对准机的旋转装置
专利号：201210002135.2
专利名称：侧翻大气机械手末端执行装置
专利号：201210002039.8
专利名称：机械手末端执行器
专利号：ZL 201210002054.2
专利名称：侧翻式机械手
专利号：201210002320.1
专利名称：大气机械手
专利号：201210002307.6
专利名称：预对准装置
专利号：ZL 201210002083.9
专利名称：预对准机的标定方法
专利号：ZL 201010002104.7
专利名称：双臂大气机械手及应用其的机器人
专利号：201110454398.2
专利名称：具有导气环的机械手
专利号：ZL 201110449454.3
专利名称：压力调整装置
专利号：201110449438.4
专利名称：硅片传输机械手双电机同步控制装置及其方法
专利号：ZL 201010614226.2
专利名称：晶圆预对准方法
专利号：201010612216.5
专利名称：一种机器人手臂机构
专利号：201010599482.9
专利名称：一种用于板状工件搬运的末端执行器可侧翻机构
专利号：201010590092.5
