专利
专利名称：一种晶圆传送机器人手臂机构
专利号：201010563828.X
专利名称：多轴真空机械手轴系精度测试装置
专利号：PCT/CN2013/087394
专利名称：一种测量直流无刷电机参数的方法
专利号：PCT/CN2013/087390
专利名称：一种集成旋转变压器的静态真空轴系装置
专利号：PCT/CN2013/087398
专利名称：一种晶圆预对准方法
专利号：PCT/CN2013/087387
专利名称：一种集成断电制动装置的Z轴伺服电机
专利号：PCT/CN2012083822
专利名称：一种能够平衡受力状态的Z轴升降结构
专利号：PCT/CN2012083816
专利名称：一种驱动装置
专利号：PCT/CN2013/086700
专利名称：透光夹持式预对准机
专利号：PCT/CN2012/078863
专利名称：立柱结构
专利号：PCT/CN2012/078848
专利名称：多层回转限位机构
专利号：PCT/CN2012/078847
专利名称：空间连杆型机械手
专利号：PCT/CN2012/078846
专利名称：QFP 管脚检测软件 V1.0
专利号：2013SR011765
专利权人：华中科技大学
时间：2012-02-21
专利名称：基于非局部均值的SUSAN 边缘检测方法及系统
专利号：PCT/CN2013/077101
专利权人：华中科技大学
时间：2012-02-20
专利名称：多倍率成像光学系统
专利号：201010613402.0
专利权人：长春光华微电子设备工程中心有限公司
时间：2012-02-19
