专利
专利名称：一种电主轴的磨削冷却液进液机构及减薄机
专利号：201110411105.2
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2011-12-05
专利名称：一种刀体冷却装置及空气静压电主轴
专利号：201110028314.9
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2011-12-04
专利名称：陶瓷球电主轴及划片机
专利号：201110002155.5
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2011-12-03
专利名称：电主轴的气缸锁紧装置及切割机
专利号：201110002863.9
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2011-12-02
专利名称：一种扭力扳手
专利号：201110004281.4
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2011-12-01
专利名称：碳刷制造方法、碳棒制造方法及碳刷
专利号：201010567341.9
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2011-11-30
专利名称：空气静压电主轴和空气静压电主轴的冷却装置
专利号：201010567342.3
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2011-11-29
专利名称：划片机刀片的修整方法
专利号：201010243418.7
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2011-11-28
专利名称：均热板及应用该均热板的基片处理设备
专利号：PCT/CN2011/082730
专利名称：一种靶材功率加载方法、靶材电源及半导体处理设备
专利号：SG201108045-4
专利名称：一种靶材功率加载方法、靶材电源及半导体处理设备
专利号：US13/378936
专利名称：一种靶材功率加载方法、靶材电源及半导体处理设备
专利号：PCT/CN2010/079951
专利名称：等离子体处理设备
专利号：KR2011-7008379
专利名称：等离子体处理设备
专利号：SG201101945-2
专利名称：等离子体处理设备
专利号：US13/119106
