专利
专利名称：电感耦合线圈及采用该电感耦合线圈的电感耦合等离子体装置
专利号：JP2010-541014
专利名称：电感耦合线圈及采用该电感耦合线圈的电感耦合等离子体装置
专利号：SG201004630-8
专利名称：等离子体处理设备及其气体分配装置
专利号：US12/811991
专利名称：等离子体处理装置
专利号：SG201004493-1
专利名称：等离子体处理装置
专利号：US12/811628
专利名称：电感耦合线圈及采用该电感耦合线圈的等离子体装置
专利号：SG201104896-4
专利名称：电感耦合线圈及采用该电感耦合线圈的等离子体装置
专利号：SG200901027-3
专利名称：电感耦合线圈及采用该电感耦合线圈的等离子体装置
专利号：KR2009-7001534
专利名称：电感耦合线圈及采用该电感耦合线圈的电感耦合等离子体装置
专利号：US12/439352
专利名称：电感耦合线圈及采用该电感耦合线圈的电感耦合等离子体装置
专利号：KR2011-7014434
专利名称：电感耦合线圈及采用该电感耦合线圈的电感耦合等离子体装置
专利号：KR2009-7002279
专利名称：电感耦合线圈及采用该电感耦合线圈的电感耦合等离子体装置
专利号：JP2009-524865
专利名称：控温装置及其控制晶片温度的方法
专利号：KR2009-7001508
专利名称：一种日志记录的方法和装置
专利号：200910076961.x
专利名称：一种排气板及等离子体处理设备
专利号：201010159101.5
