专利

专利名称：去除硅衬底材料抛光后表面金属杂质的清洗方法
专利号：201010231561.4 
专利权人：河北工业大学
时间：2011-05-24
专利名称：铌酸锂晶体化学机械抛光后的应力控制方法
专利号：201010231679.7 
专利权人：河北工业大学
时间：2011-05-23
专利名称：极大规模集成电路钨插塞CMP后表面洁净方法
专利号：201010231680.X 
专利权人：河北工业大学
时间：2011-05-22
专利名称：铌酸锂晶片碱性CMP后的表面洁净方法
专利号：201010231937.1 
专利权人：河北工业大学
时间：2011-05-21
专利名称：蓝宝石衬底材料抛光后表面洁净方法
专利号：201010231658.5 
专利权人：河北工业大学
时间：2011-05-20
专利名称：计算机硬盘磷化铟基片CMP后表面洁净方法
专利号：201010231657.0 
专利权人：河北工业大学
时间：2011-05-19
专利名称：硅衬底材料抛光后表面清洗方法
专利号：201010231455.6 
专利权人：河北工业大学
时间：2011-05-18
专利名称：超大规模集成电路多层铜布线化学机械抛光后的洁净方法
专利号：201010232256.7 
专利权人：河北工业大学
时间：2011-05-17
专利名称：ULSI铜材料抛光后表面清洗方法
专利号：201010232260.3 
专利权人：河北工业大学
时间：2011-05-16
专利名称：极大规模集成电路多层布线碱性抛光后防氧化方法
专利号：201010231676.3 
专利权人：河北工业大学
时间：2011-05-15
专利名称：超大规模集成电路铜布线表面低压化学机械抛光方法
专利号：201010231553.X 
专利权人：河北工业大学
时间：2011-05-14
专利名称：液晶屏的清洗方法
专利号：201010232556.5 
专利权人：河北工业大学
时间：2011-05-13
专利名称：锑化铟晶片碱性化学机械抛光后的表面洁净方法
专利号：201010232557.X 
专利权人：河北工业大学
时间：2011-05-12
专利名称：Ti阻挡层材料化学机械抛光后的表面洁净方法
专利号：201010232559.9 
专利权人：河北工业大学
时间：2011-05-11
专利名称：镁铝合金化学机械抛光后表面清洗方法
专利号：201010231659.X 
专利权人：河北工业大学
时间：2011-05-10
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