专利

专利名称：一种具有轴端动密封结构的干式真空泵
专利号：201010565680.3
专利权人：沈科仪
时间：2010-11-30
专利名称：真空泵用屏蔽电机
专利号：201010199133.8
专利权人：沈科仪
时间：2010-06-12
专利名称：一种真空泵用排气口
专利号：201010199127.2
专利权人：沈科仪
时间：2010-06-12
专利名称：多级干式真空泵人机操作装置
专利号：201010191798.4
专利权人：沈科仪
时间：2010-06-04
专利名称：集成电路用真空机组控制系统
专利号：201010191806.5
专利权人：沈科仪
时间：2010-06-04
专利名称：干式真空泵抽气工艺模拟测试方法及测试系统
专利号：CN2014/070372
专利权人：沈科仪
时间：2014-01-09
专利名称：干式真空泵单元及具有该干式真空泵单元的干式真空泵
专利号：CN2013/076646
专利权人：沈科仪
时间：2013-06-03
专利名称：一种具有组合式螺杆转子的螺杆型干式真空泵
专利号：CN2013/076257
专利权人：沈科仪
时间：2013-05-27
专利名称：一种用于晶圆烘焙的热板单元
专利号：201120147399.8
专利权人：沈阳自动化所
时间：2011-05-11
专利名称：一种用于晶圆烘焙的热板
专利号：201120147398.3
专利权人：沈阳自动化所
时间：2011-05-11
专利名称：基板冷热处理装置
专利号：201210164107.0
专利权人：沈阳芯源
时间：2012-05-24
专利名称：一种防止晶片翘曲的烘烤装置及其烘烤方法
专利号：201110332553.3
专利权人：沈阳芯源
时间：2011-10-27
专利名称：一种换向倒极装置
专利号：201110332565.6
专利权人：沈阳芯源
时间：2011-10-27
专利名称：一种旋转气流降温热板
专利号：201110332092.X
专利权人：沈阳芯源
时间：2011-10-27
专利名称：基于CPLD的光电码盘正交脉冲任意小数分频系统及方法
专利号：201110444701.0
专利权人：哈工大
时间：2011-12-27
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