专利
专利名称：真空显影机构
专利号：200910011829.0
专利名称：一种集束式结构的涂胶显影设备
专利号：201210001120.4
专利名称：全自动胶膜涂覆、显影装置
专利号：201210001047.0
专利名称：平面模块式设备结构
专利号：201010604295.5
专利名称：液体薄膜的喷涂装置与方法
专利号：201010126040.2
专利名称：即热超声微喷装置
专利号：201010122828.6
专利名称：基于超声波振动台的液体材料薄膜喷涂装置及方法
专利号：201010129104.4
专利名称：一种喷涂机构及喷涂方法
专利号：201110022468.7
专利名称：超微雾化喷涂方法
专利号：99141368.0
专利名称：一种超微雾化喷涂方法
专利号：201010566053.1
专利名称：可旋转加热的吸附装置
专利号：PCT/CN2010/079664
专利名称：一种均匀喷涂光刻胶的方法
专利号：99137111.0
专利名称：用于半导体制成中的喷胶处理装置
专利号：200910187469.X
专利名称：相控超声波雾化喷嘴
专利号：201010122838.X
专利名称：组合超声雾化装置
专利号：201010122821.4
