专利
专利名称：真空边缘夹持机构
专利号：201010183226.1
专利名称：多种化学品分类排放回收系统
专利号：200910220034.0
专利名称：带有可旋转底盘的化学液分类回收装置
专利号：201010571322.3
专利名称：内置可升降支柱的承片台装置
专利号：201010183220.4
专利名称：一种用于单面处理的夹持与保护装置
专利号：200910011158.8
专利名称：带有可升降挡板的多层腔体装置
专利号：201010284597.9
专利名称：旋转显影真空管路中的简易气液分离装置
专利号：201210380881.5
专利名称：一种流速测量装置
专利号：201110387196.0
专利名称：一种双喷嘴清洗装置
专利号：201110332211.1
专利名称：一种晶圆的生产中的清洗方法
专利号：201110332321.8
专利名称：一种化学品泄漏自动检测回收装置
专利号：201110332739.9
专利名称：一种化学液回收装置
专利号：201110332579.8
专利名称：一种半导体方形基片旋转自动紧固装置
专利号：201110021346.6
专利名称：带有氮气保护的真空式卡盘装置
专利号：201110021564.X
专利名称：毛刷清洗装置及其使用方法
专利号：201010566164.2
