专利
专利名称：门的安全开关装置
专利号：201120511264.5
专利名称：一种晶圆干燥装置
专利号：201220633987.7
专利名称：一种化学液分配系统
专利号：201320057575.8
专利名称：兆声波换能器的连接盖
专利号：20120524144.3
专利名称：用于运动管件和固定平板连接处的密封装置
专利号：201220394812.5
专利名称：具有监测半导体晶片状态功能的夹持装置
专利号：201220478274.8
专利名称：一种喷淋装置
专利号：201220318045.X
专利名称：自调节夹紧装置
专利号：201220332328.X
专利名称：旋转薄片盘状物夹持装置
专利号：201220297481.3
专利名称：一种清洗雾化喷射装置
专利号：201220186692.X
专利名称：提高气流均匀性的窗格装置
专利号：201220001638.3
专利名称：一种安全门
专利号：201120457801.2
专利名称：用于湿法腐蚀机清洗工艺的兆声波换能装置
专利号：201120444552.3
专利名称：兆声波换能装置
专利号：201120444538.3
专利名称：兆声波清洗头及包括该清洗头的兆声波清洗系统
专利号：201120383102.8
