专利
专利名称：随机相移混频型环状压电振子组合兆声波换能器
专利号：201120417509.8
专利名称：半导体晶圆运送系统
专利号：201120361308.0
专利名称：微环境的垂直层流系统
专利号：201120180902.x
专利名称：风门装置
专利号：201020700864.1
专利名称：高速射流喷头
专利号：201020638718.0
专利名称：清洁晶片装置
专利号：201020597114.6
专利名称：一种自清洗腔体
专利号：201320150997.X
专利名称：一种空气调节监测系统
专利号：201220464781.1
专利名称：可多次使用的辅助安装工具
专利号：201220602638.9
专利名称：一种清洗机安全互锁保护系统
专利号：201220690605.4
专利名称：一种液位测量装置
专利号：201320054540.9
专利名称：清洗机摆动喷淋装置
专利号：201220696491.4
专利名称：一种气液两相雾化清洗装置
专利号：201220653915.9
专利名称：一种设备无线监控系统
专利号：201220652944.3
专利名称：一种腔室气流控制系统
专利号：201220710291.X
