专利
专利名称：盘状物夹持装置
专利号：201210406346.2
专利名称：化学液存储装置
专利号：201210375237.9
专利名称：补液装置
专利号：201210387839.6
专利名称：防断电保护的硅片清洗机
专利号：201210348357.X
专利名称：支撑脚装置
专利号：201210277887.X
专利名称：半导体晶圆制造装置
专利号：201210287525.9
专利名称：一种盘状夹持装置
专利号：201210283249.9
专利名称：晶片背面清洗装置
专利号：201210246778.1
专利名称：防止液体回溅装置
专利号：201210283204.1
专利名称：晶片清洗装置及清洗方法
专利号：201210113556.2
专利名称：薄片盘状物清洗甩干器
专利号：201110441878.5
专利名称：凸轮式盘状物夹持装置
专利号：201210004761.5
专利名称：用于安装面板的装置
专利号：201110409940.2
专利名称：单片清洗设备中的硅片夹持装置
专利号：201110365941.1
专利名称：夹持平面盘状物的装置
专利号：201210037911.2
