专利
专利名称：清洗机摆动喷淋装置及方法
专利号：201210546229.6
专利名称：一种气液两相雾化清洗装置及清洗方法
专利号：201210506549.9
专利名称：一种设备无线监控系统及方法
专利号：201210507819.8
专利名称：一种二级串联泵速度的控制方法
专利号：201310039437.1
专利名称：一种CDS循环系统气动阀检测方法
专利号：201310039484.6
专利名称：一种腔室气流控制系统及方法
专利号：201210556490.4
专利名称：用于主轴低速旋转气体密封装置
专利号：201210489339.3
专利名称：化学药液储液罐转换连接器
专利号：201210546521.8
专利名称：化学液分配装置
专利号：201210459209.5
专利名称：可移动式密封装置
专利号：201220653964.2
专利名称：一种控制化学液温度的装置及方法
专利号：201210558397.7
专利名称：一种移动式密封装置
专利号：201210507534.4
专利名称：防止液体飞溅的清洗装置和具有该装置的清洗系统
专利号：201210494618.9
专利名称：雾化清洗装置和方法
专利号：201310043381.7
专利名称：一种工艺腔室排风系统及排风方法
专利号：201210365869.7
