专利

专利名称：一种基于图像处理的调焦调平测量装置和方法
专利号：201310563436.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-11-14
专利名称：一种微动变形像差校正装置
专利号：201310414874.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-09-13
专利名称：线圈结构及直线电机
专利号：201310671730.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-12-10
专利名称：传输机械手柔性关节保护装置及方法
专利号：201310671709.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-12-10
专利名称：吸音隔声装置及光刻设备
专利号：201310670312.9
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-12-10
专利名称：一种基于布拉格光栅的硅片对准补偿装置及方法
专利号：201310621202.3
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-11-29
专利名称：平板音圈电机
专利号：201310612815.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-11-26
专利名称：一种零位传感器调节装置及方法
专利号：201310621314.9
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-11-29
专利名称：运动台反力抵消装置
专利号：201310612812.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-11-26
专利名称：用于光刻设备的掩模整形装置及掩模整形方法
专利号：201310563365.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-11-14
专利名称：一种反射镜精密调整装置
专利号：201310413344.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-09-12
专利名称：用于光刻机镜头的远心测量装置及方法
专利号：201310463553.6
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-10-08
专利名称：掩模版固定装置及方法
专利号：201310321165.4
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-07-26
专利名称：套刻测量装置和方法
专利号：201310379994.8
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-08-27
专利名称：一种扫描反射镜振动幅度自动调节的调焦调平装置及方法
专利号：201310377315.3
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-08-27
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