专利

专利名称：一种硅片预对准装置及其方法
专利号：201310513625.3
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-10-25
专利名称：投影曝光装置
专利号：201310473543.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-10-11
专利名称：一种照明系统
专利号：201310380266.9
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-08-27
专利名称：一种旋转交换手自适应保护装置及其保护方法
专利号：201310429043.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-09-18
专利名称：一种自参考散射测量装置和方法
专利号：201310518199.2
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-10-29
专利名称：一种物镜隔振装置及对该物镜及物镜隔振装置的结构计算方法
专利号：201310389117.9
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-09-02
专利名称：调焦调平光斑水平位置的测量方法
专利号：201310429103.5
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-09-18
专利名称：高精度气体温度控制系统及方法
专利号：201310380239.1
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-08-27
专利名称：利用掩模对准系统进行工件台基准板旋转探测的方法
专利号：201310634236.6
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-12-03
专利名称：一种集成电路设备上用的承载固定装置
专利号：201310461410.1
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-10-08
专利名称：一种机柜用旋转结构
专利号：201320453902.1
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-07-26
专利名称：一种三线制热电阻测量电路
专利号：201310331643.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-08-02
专利名称：多传感器对准系统中离焦倾斜校准与补偿方法及系统
专利号：201310429019.3
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-09-18
专利名称：对准装置及方法
专利号：201310429067.2
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-09-18
专利名称：对准装置
专利号：201310347666.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-08-09
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