专利

专利名称：工作件台与光罩台共用的平衡品质系统及光蚀刻机
专利号：TW102138033
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-10-22
专利名称：工件台与掩模台公用的平衡质量系统及光刻机
专利号：PCT/CN2013/084005
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-09-23
专利名称：工件台与掩模台公用的平衡质量系统及光刻机
专利号：201210451784.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-11-12
专利名称：一种双轴同步与差动运动系统及其控制补偿方法
专利号：201310030290.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海微高精密机械工程有限公司
时间：2013-01-25
专利名称：一种补偿镜片调整装置
专利号：201210425171.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-10-31
专利名称：一种图像传感器的检测和标定装置及方法
专利号：201310092369.5
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-03-21
专利名称：塞曼双频激光器
专利号：201210586863.2
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：一种平面运动测量装置及方法
专利号：201210586818.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：一种调焦调平系统
专利号：201310041216.8
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-02-04
专利名称：无位置传感器永磁同步电机的电流检测装置
专利号：201220610886.8
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-11-16
专利名称：载物台平移测量装置及测量方法
专利号：201210525294.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-07
专利名称：一种多路水冷温度控制系统及控制方法
专利号：201210475503.5
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-11-22
专利名称：一种掩模对准信号的归一化方法
专利号：201210553094.6
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-19
专利名称：一种通用电机驱动装置及驱动方法
专利号：201310167116.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-05-08
专利名称：一种测试材料释气率的装置及方法
专利号：201310049859.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-02-07
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