专利
专利名称：一种用于隔振的柔性装置及使用该装置的光刻设备
专利号：201210529669.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-11
专利名称：高压触发器装置及其高压触发方法
专利号：201210586799.8
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：一种投影物镜差分微调装置
专利号：201220742869.X
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：一种用于物镜镜片调节的手动微调机构
专利号：201310192727.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-05-22
专利名称：一种偏振拼接照明系统
专利号：201310075451.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-03-11
专利名称：立式线缆支撑装置
专利号：201310030001.6
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-01-25
专利名称：减震装置
专利号：201310030305.2
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-01-25
专利名称：硅片交接装置
专利号：201210587414.X
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：一种波像差测量装置
专利号：201310140324.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-04-22
专利名称：采用组合式导轨安装梁的机箱及该安装梁
专利号：201220742870.2
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：刮伤掩模修补装置及方法
专利号：201310030316.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-01-25
专利名称：一种掩膜版回推机构
专利号：201310168049.3
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-05-08
专利名称：一种大型半导体设备集约型装配柜体
专利号：201310245139.8
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-06-19
专利名称：一种消除导轨面形对套刻偏差影响的方法
专利号：201310009865.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-01-11
专利名称：掩模版盒的上锁和解锁装置
专利号：201310049277.9
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-02-07