专利

专利名称：一种高分辨率线性干涉仪
专利号：201210118777.9
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-04-20
专利名称：用于光刻机中的掩模版固定装置及掩模版固定方法
专利号：201010618751.1
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2010-12-31
专利名称：动线圈型磁浮电机的磁对准方法及系统1
专利号：201310167107.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-05-08
专利名称：一种动线圈型磁浮电机及其磁角度检测方法
专利号：201310130299.8
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-04-15
专利名称：动线圈型磁浮电机的磁对准方法及系统2
专利号：201310168046.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-05-08
专利名称：一种采用霍尔阵列的磁浮平面电机初始化位置检测方法
专利号：201210035750.3
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-02-17
专利名称：一种干涉仪阿贝余弦误差自动校准装置及方法
专利号：201010619281.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2010-12-31
专利名称：气体温度控制装置
专利号：201130439930.4
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2011-11-25
专利名称：一种具有温度探测功能的掩模对准探测器、光刻装置及对准探测方法
专利号：201110404905.1
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海微高精密机械工程有限公司
时间：2011-12-08
专利名称：基于阵列光电传感器的背面离轴对准系统、光刻装置及方法
专利号：201210083260.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海微高精密机械工程有限公司
时间：2012-03-27
专利名称：硅片传输系统
专利号：201220130846.3
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-03-30
专利名称：基底机台专用基底上片系统及其上片方法
专利号：201210276238.8
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-08-03
专利名称：有效减少孔显影缺陷的显影方法
专利号：201210005668.6
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-01-09
专利名称：基于双频干涉的面型测量装置及方法
专利号：201110040428.5
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2011-02-18
专利名称：一种调焦调平装置及调焦调平方法
专利号：201210101739.2
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-04-10
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