专利

专利名称：用于光刻设备的参考光栅装调装置及方法
专利号：201010606285.5
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2010-12-22
专利名称：硅片机械手
专利号：201010618308.4
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海微高精密机械工程有限公司
时间：2010-12-30
专利名称：一种干涉曝光系统及其曝光方法
专利号：201210117916.6
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-04-22
专利名称：一种集成传感器结构
专利号：201120570647.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2011-12-30
专利名称：用于光刻设备的对准信号处理装置及对准装置
专利号：201210159468.6
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-05-22
专利名称：用于电机绕组的线圈单元及应用该线圈单元的平面电机
专利号：201210587411.6
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：一种光刻照明系统
专利号：201210042697.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-02-24
专利名称：一种波像差测量标记及波像差测量方法
专利号：201210183465.6
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-06-06
专利名称：一种污染测试装置及方法
专利号：201210041162.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-02-22
专利名称：平面电机及应用其的掩模台系统
专利号：201010618358.2
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2010-12-30
专利名称：一种光刻设备环境控制系统
专利号：201010618422.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2010-12-30
专利名称：四自由度精密调整机构
专利号：201220171997.3
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-04-20
专利名称：硅片对准信号的处理方法
专利号：201210155572.8
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海微高精密机械工程有限公司
时间：2012-05-18
专利名称：基于标记周期级次光强值累加判断寻找对准标记的方法及对准系统
专利号：201210005213.4
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-01-10
专利名称：镜框固定装置
专利号：201210005083.4
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-01-09
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