专利
专利名称：一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置
专利号：201320047881
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-01-29
专利名称：一种调焦调平装置的起偏光路
专利号：201120403042
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2011-10-20
专利名称：一种设有阶梯调焦标记的调焦调平装置
专利号：201120400413
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2011-10-20
专利名称：一种光学测量台架装置
专利号：201710116193
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2017-03-01
专利名称：一种激光干涉仪调整座
专利号：201510354160
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2015-06-24
专利名称：一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法
专利号：201510264842
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2015-05-22
专利名称：一种光学系统波像差测量装置与测量方法
专利号：201410373440
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2014-07-31
专利名称：一种光刻投影物镜系统波像差测量装置与方法
专利号：201410184450
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2014-05-04
专利名称：一种用于内窥镜摄像适配器的光机结构
专利号：201410184639.X
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2014-05-05
专利名称：一种内窥镜用摄像适配器光学系统
专利号：201410184450
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2014-05-04
专利名称：基于双光束干涉的投影物镜波像差在线检测装置和方法
专利号：201310041059
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-02-01
专利名称：一种光刻机投影物镜波相差在线测量装置和方法
专利号：201310032881
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-01-29
专利名称：一种调焦调平装置
专利号：201110321960
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2011-10-20
专利名称：一种调焦调平装置
专利号：201110319524
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2011-10-20
专利名称：光学元件支撑装置及包含其的光学系统
专利号：PCT/CN2016/113692
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2016-12-30