专利
专利名称：一种发射极上黑硅结构的太阳能电池及其制备方法
专利号：201110263591.8
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2011-09-07
专利名称：一种原位制备太阳能电池的方法
专利号：201010274489.3
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2010-09-07
专利名称：一种等离子体浸没注入装置
专利号：201010269027.2
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2010-09-01
专利名称：一种黑硅太阳能电池及其制备方法
专利号：201010244858.4
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2010-08-04
专利名称：利用等离子体浸没离子注入制备黑硅的方法
专利号：201010235399.3
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2010-07-23
专利名称：在等离子体浸没离子注入中对不同质量离子分离的装置
专利号：200910093883.4
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2009-09-23
专利名称：一种用于等离子体浸没注入剂量检测的法拉第装置
专利号：200910080916.1
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2009-03-25
专利名称：一种光学测量台架装置
专利号：201720190098
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2017-03-01
专利名称：一种激光干涉仪调整装置
专利号：201520438989
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2015-06-24
专利名称：一种微孔衍射波前质量的测量装置
专利号：201520337328
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2015-05-22
专利名称：一种光学系统波像差测量装置
专利号：201420429293
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2014-07-31
专利名称：一种光刻投影物镜系统波像差测量装置
专利号：201420224944
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2014-05-04
专利名称：用于摄像适配器的光机结构
专利号：201420224161
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2014-05-04
专利名称：摄像适配器光学系统
专利号：201420223976
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2014-05-04
专利名称：双光束干涉的投影物镜波像差在线检测装置
专利号：201320059358
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-02-01