专利
专利名称：一种高精度可调光学元件的支撑装置
专利号：201410508362
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-09-26
专利名称：一种电容式位移传感器的线性度标定方法
专利号：201410508663
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-11-28
专利名称：四自由度微调支架
专利号：201410503142
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-09-24
专利名称：一种高精度的压电陶瓷的驱动放大电路
专利号：201410441036
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-09-01
专利名称：一种压电陶瓷的驱动放大电路
专利号：201410441038
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-09-01
专利名称：基于激光热应力成形的芯片引脚整形装置及方法
专利号：201410440424
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-08-29
专利名称：一种用于光刻投影物镜中可动机构的锁紧装置
专利号：201410428000
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-08-27
专利名称：压电陶瓷驱动器迟滞系统的开环模糊控制方法
专利号：201410427889
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-08-27
专利名称：一种解耦的光刻投影物镜中透镜偏心调节装置
专利号：201410427113.X
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-08-26
专利名称：一种具有自重补偿功能的光刻投影物镜中透镜支撑装置
专利号：201410427123
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-08-26
专利名称：一种平面光阑装置
专利号：201410364157
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-07-29
专利名称：平板电容位移传感器标定装置
专利号：201410290740
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-06-25
专利名称：一种高承载能力的二维角度调整架
专利号：201410314097
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-07-02
专利名称：电容位移传感器标定装置
专利号：201410314100
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-07-02
专利名称：一种径向抽拉式结构的物镜保护窗口
专利号：201410310434
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-07-01