专利

专利名称：光学元件平面柔性微动调整装置
专利号：201410311667
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-07-01
专利名称：一种光刻投影物镜微位移控制的电路结构
专利号：201410120352
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-03-27
专利名称：一种光刻投影物镜功能性调节的控制系统结构
专利号：201410035505
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-01-24
专利名称：一种微位移传感器标定装置
专利号：201310675883
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2013-12-12
专利名称：基于单自由度柔性微动调整机构的微位移传感器标定装置
专利号：201310675863
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2013-12-12
专利名称：透镜X/Y/θZ三自由度微动调整装置
专利号：201310442669
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2013-09-25
专利名称：光刻投影物镜系统中光学元件的轴向调节装置
专利号：201310441772
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2013-09-25
专利名称：光刻投影物镜系统中光学元件的轴向宏微调节装置
专利号：201310441882
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2013-09-25
专利名称：双电机光学元件轴向调节装置
专利号：201310459341
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2013-09-25
专利名称：光学元件气囊支撑装置
专利号：201310322904
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2013-07-29
专利名称：光刻物镜中透镜轴向调整装置
专利号：201310322848
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2013-07-29
专利名称：光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置
专利号：201310322691
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2013-07-29
专利名称：支撑高度可调式光学元件多点支撑结构
专利号：201310322943
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2013-07-29
专利名称：用于光刻投影物镜中可快速更换的高重复定位精度结构
专利号：201310146354
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2013-04-25
专利名称：一种柔性环片结构的透镜轴向微调装置
专利号：201310134849
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2013-04-18
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