专利

专利名称：光学元件轴向调整装置
专利号：201210535928
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2012-12-12
专利名称：光学透镜高精度支撑结构
专利号：201210312858
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2012-08-29
专利名称：光刻物镜中光学元件高精度支撑结构
专利号：201210312923
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2012-08-29
专利名称：光刻投影物镜中光学元件x-y微动调整装置
专利号：201210312613
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2012-08-29
专利名称：光学元件Z、tip、tilt三自由度调整装置
专利号：201210206747
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2012-06-21
专利名称：光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置
专利号：201210206728
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2012-06-21
专利名称：光学元件X、Y、θZ三自由度微动调整装置
专利号：201210206744
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2012-06-21
专利名称：一种大承载光学元件倾斜调整机构
专利号：201210091446
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2012-03-31
专利名称：一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置
专利号：201110127031
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2011-05-17
专利名称：一种光刻机投影物镜镜片的支撑装置
专利号：201110212311
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2011-07-27
专利名称：一种投影物镜系统中光学元件调心装置
专利号：201110127024
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2011-05-17
专利名称：一种光刻机投影物镜镜头的装调装置
专利号：201110212283
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2011-07-27
专利名称：一种可双向调节缝宽的狭缝装置
专利号：201010242597
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2010-08-02
专利名称：投影物镜系统中光学元件重力变形气压差补偿装置及方法
专利号：201010243112
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2010-08-03
专利名称：一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置
专利号：201010242493
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2010-08-02
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