专利

专利名称：一种间隙自适应抛光磨头
专利号：201110452720
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2011-12-30
专利名称：一种组合式抛光磨头
专利号：201110452739
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2011-12-30
专利名称：一种十字铰接式磨头
专利号：201110452734
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2011-12-30
专利名称：一种高精度光学元件抛光用夹具
专利号：201110336172
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2011-10-31
专利名称：一种抛光液供给装置
专利号：201110212355
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2011-07-27
专利名称：干涉仪光学系统
专利号：201611133621
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2016-12-10
专利名称：菲索激光干涉仪镜头及菲索激光干涉仪
专利号：PCT/CN2016/100093
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2016-09-26
专利名称：斐索激光干涉仪标准镜头及斐索激光干涉仪
专利号：201610633535
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2016-08-04
专利名称：一种长曲率半径凸面参考面标准具
专利号：PCT/CN2016/107908
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2016-11-30
专利名称：物距可调的有限远共轭距光学变焦系统
专利号：201610929892
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2016-10-31
专利名称：一种光刻投影物镜腔体精密监控装置
专利号：201611058915
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2016-11-25
专利名称：物距可调的有限远共轭距光学变焦系统
专利号：PCT/CN2016/103978　
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2016-10-31
专利名称：确定光刻物镜光学设计中光线偏振比退化度的方法和装置
专利号：201610638353
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2016-08-16
专利名称：一种长曲率半径凸面参考面标准具
专利号：201510968119
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2015-12-22
专利名称：提高光利用率及投影亮度的投影光学系统
专利号：201510962289.X　
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2015-12-21
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