专利
专利名称：气动光学变形镜系统的控制方法
专利号：201510812248
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2015-11-20
专利名称：一种光学系统局部环境控制单元
专利号：201510788370. 0
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2015-11-20
专利名称：光刻投影物镜热效应评估方法
专利号：201510754932
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2015-11-09
专利名称：一种宽波段斐索激光干涉仪标准参考镜
专利号：201510755116
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2015-11-09
专利名称：一种能够产生多种像差的变形镜装置
专利号：201510726022
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2015-10-30
专利名称：气体供给装置及具有其的光刻投影物镜
专利号：201510600397
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2015-09-21
专利名称：一种双波长斐索激光干涉仪标准参考镜
专利号：201410613532
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-10-31
专利名称：双波长斐索激光干涉仪
专利号：201410605364
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-10-30
专利名称：一种光刻投影物镜内部腔室气体环境采集控制系统
专利号：201410591253
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-10-27
专利名称：一种光学系统像质红外加热补偿装置
专利号：201410588550
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-10-27
专利名称：一种用于光刻投影物镜热效应矫正的非轴对称镜组结构
专利号：201410512397
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-09-28
专利名称：一种光刻投影物镜内部腔室高精度气体测量装置
专利号：201410512414
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-09-28
专利名称：一种F数为0.6斐索激光干涉仪标准参考镜
专利号：201410345393
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-07-18
专利名称：一种三叶像差变形镜装置
专利号：201410311299
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-07-01
专利名称：一种像散变形镜装置
专利号：201410311300
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-07-01