专利
专利名称：非球面面形的检测方法
专利号：201310009872.X
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-01-16
专利名称：光刻机设备用离轴照明装置
专利号：ZL201310096136.2
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2012-11-30
专利名称：产生投影光刻照明模式的装置
专利号：ZL201310037656.6
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2012-11-29
专利名称：光束位置和角度的调节装置
专利号：ZL201310016305.7
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2012-11-29
专利名称：193nm熔石英光栅起偏器及其在光刻设备中的应用
专利号：ZL201210506441.X
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2012-12-26
专利名称：光刻照明用光瞳整形装置
专利号：ZL201210500655.6
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2012-12-26
专利名称：用于紫外光刻机的光刻照明系统
专利号：ZL201210499556.0
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2012-11-21
专利名称：高反射率凹面锥形反射镜的面形检测方法
专利号：ZL201210573251.X
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2012-11-01
专利名称：球端面锥形透镜的面形测量方法
专利号：201210572915
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2012-08-20
专利名称：改变光束偏振方向二维分布的装置
专利号：ZL201210473826.0
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2012-06-15
专利名称：轴锥镜面形的测量装置和测量方法
专利号：ZL201210431104.9
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2012-06-12
专利名称：轴锥镜透射波面的测量方法
专利号：ZL201210297844.8
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2012-06-08
专利名称：相位延迟量分布和快轴方位角分布实时测量装置和方法
专利号：ZL201210199435.4
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2012-04-26
专利名称：线性双折射测量装置和测量方法
专利号：ZL201210193165.6
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2012-03-20
专利名称：衍射光学元件光学性能测量装置及测量方法
专利号：ZL201210189191.1
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2012-03-31