专利
专利名称：A detection apparatus and method for testing optical performance of a beam shaping element
专利号：EP11838977.4
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-07-19
专利名称：A detection apparatus and method for testing optical performance of a beam shaping element
专利号：PCT/CN2011/001063
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-07-01
专利名称：消除衍射光学元件零级衍射光斑的方法
专利号：ZL201310309858.1
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-06-26
专利名称：光刻机光束监测系统的标定装置及标定方法
专利号：ZL201310307284.4
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-06-21
专利名称：步进扫描投影光刻机的照明系统
专利号：ZL201310270245.1
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-06-21
专利名称：傅里叶变换物镜
专利号：ZL201310259300.7
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-06-21
专利名称：线性双折射测量装置和测量方法
专利号：ZL201310250980.6
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-06-07
专利名称：正弦相位调制器峰值延迟量的标定装置与方法
专利号：201310250491
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-06-07
专利名称：四分之一波片相位延迟量的测量装置和测量方法
专利号：ZL201310250418.3
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-05-23
专利名称：光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置和对准方法
专利号：ZL201310227449.7
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-05-13
专利名称：三维光场调控装置
专利号：ZL201310227448.2
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-04-12
专利名称：光学镜头畸变的测量装置和校正方法
专利号：201310194209
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-04-12
专利名称：光刻机用微透镜阵列的检测装置和检测方法
专利号：ZL201310139490.9
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-04-02
专利名称：光刻机能量传感器的性能测量装置和测量方法
专利号：ZL201310126184.1
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-03-22
专利名称：两个光束在同一入射面的位置与角度同时测量装置
专利号：ZL201310126130.5
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-01-30
