专利
专利名称：一种可调节的真空吸盘装置
专利号：CN201310072656.X
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2013-03-07
专利名称：一种可调式真空吸盘装置
专利号：CN201210513032.2
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-12-04
专利名称：一种光学镜片的支撑装置
专利号：CN201210510940.6
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-12-04
专利名称：一种基于等厚干涉法的中心误差的测量装置
专利号：CN201210404997.8
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-10-22
专利名称：一种无掩模数字投影光刻的图形拼接
专利号：CN201210145576.8
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-05-11
专利名称：一种掩模光栅对准标记倾斜成像的消除方式
专利号：CN201210321230.9
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-09-03
专利名称：一种大行程高速双重驱动纳米定位系统
专利号：CN201210112686.4
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-04-17
专利名称：一种自转式光学系统对心装置及其调整方法
专利号：CN201210383552.6
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-10-11
专利名称：一种用于投影光刻机中的焦面检测装置
专利号：CN201110224619.7
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2011-08-20
专利名称：偏振光栅参考自准直二维测角装置
专利号：CN201110006877.8
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2011-01-10
专利名称：一种可变矩形窗调节机构
专利号：CN201010605594.0
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2010-12-27
专利名称：一种单幅封闭条纹相位提取方法
专利号：CN201010593074.2
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2010-12-08
专利名称：一种光刻机掩模刀口移动装置
专利号：CN201010200465.3
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2010-06-09
专利名称：一种接近式纳米光刻中的间隙测量方法
专利号：CN201010172100.4
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2010-05-07
专利名称：一种投影光刻机中的同轴对准系统
专利号：CN200910090921.0
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2009-08-14