专利
专利名称：一种适用于CaF2材料超光滑加工的磁流变抛光液及制备方法
专利号：CN201610529324.3
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2016-07-07
专利名称：一种适用于氟化钙凸锥高效加工的联合工艺方法
专利号：CN201510595451.9
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2015-09-17
专利名称：一种适用于提升氟化钙凹锥镜粗糙度的磁流体加工工具及加工方法
专利号：CN201610530355.0
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2016-07-07
专利名称：一种适用于氟化钙凹锥高效加工的联合工艺方法
专利号：CN201610838489.9
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2016-09-22
专利名称：一种薄毕类圆筒零件的外圆磨削工装
专利号：CN201510638497.4
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2015-09-30
专利名称：一种用于大口径曲率半径比透镜的光学薄膜膜系设计方法
专利号：CN201510568233.6
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2015-09-08
专利名称：一种配备有开孔挡板的真空镀膜机系统
专利号：CN201510564712.0
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2015-09-08
专利名称：一种用于制备高性能光学薄膜的方法
专利号：CN201510292686.0
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2015-06-01
专利名称：一种同时确定光学薄膜表面粗糙度、光学常数和厚度的方法
专利号：CN201510191724.3
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2015-04-21
专利名称：一种提高热蒸发制备ALF3薄膜的深紫外以及真空紫外波段时效性的方法
专利号：CN201510029391.4
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2015-01-21
专利名称：一种用于镀膜机行星系统中控制球形光学元件膜厚分布的挡板设计方法
专利号：CN201210407852.3
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-10-24
专利名称：圆盘式薄壁零件铣销装夹装置
专利号：CN201320732410.6
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2013-11-19
专利名称：一种用于真空紫外光学元件清洁和存放的紫外臭氧干燥柜
专利号：CN201110416916.1
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2014-05-07
专利名称：一种熔石英光学基底表面氟化物薄膜快速脱膜方法
专利号：CN201410621218.9
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2014-11-06
专利名称：一种行星转动镀膜机上薄膜厚度直接光控的安装方法
专利号：CN201410479889.6
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2014-09-18
